首页> 中文期刊> 《应用科学学报》 >Si衬底上金刚石薄膜的成核和生长机理

Si衬底上金刚石薄膜的成核和生长机理

AI论文写作 >>

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

以酒精为碳源,用热丝CVD法,对不同表面状况的Si衬底作金刚石沉积比较.讨论了薄膜的成核、生长机制,认为CH_2是成核的主要气相种类,H原子直接参与了成核和生长,它们在薄膜沉积中起了极为重要的作用.解释了毛糙表面的Si衬底上金刚石易成核的现象.

著录项

来源
《应用科学学报》 |1993年第3期|258-264|共7页
作者
屠宇强; 夏义本; 王鸿;
展开▼
作者单位

不详;

不详;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
金刚石薄膜; 热丝法; 成核; 生长机理;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Si衬底气相生长金刚石薄膜的成核机制 [J] . 杨国伟 . 微细加工技术 . 1995,第002期
2. 金刚石(111)光滑表面上甲基合成金刚石薄膜的成核生长机理 [J] . 刘靖尧 ,丁益宏 ,刘波 . 高等学校化学学报 . 2000,第003期
3. 低压气相生长金刚石薄膜成核机理的研究 [J] . 杨国伟 . 微细加工技术 . 1994,第002期
4. 不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究 [J] . 黄树涛 ,于骏一 ,姚英学 . 人工晶体学报 . 1999,第3期
5. 硬质合金YG8上金刚石薄膜的成核研究 [J] . 唐璧玉 . 材料科学与工程 . 1998,第001期
6. Si衬底上金刚石薄膜成核与生长的量子化学研究 [C] . 宋雪梅 ,王波 ,陈光华 . 1998年中国材料研讨会 . 1998
7. 聚晶金刚石复合片上金刚石膜的生长行为与保护作用 [A] . 范赛飞 . 2021

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号