宽范围挠性支承精密调焦系统的设计研究

摘要

对宽范围挠性支承精密调焦系统进行了设计研究，给出了挠性支承的设计计算方法及公式，设计了两级杠杆放大式挠性支承机构及相应的驱动控制部分，试验证明，所研制的系统具有１８０μｍ的运动范围，系统分辨率优于０．５μｍ。还对电致伸缩微位移器在挠性支承机构中的驱动特性进行了试验研究。