氧化铝陶瓷/金刚石膜复合材料的表征及介电性质研究

摘要

采用ＭＰＣＶＤ和ＨＦＣＶＤ在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜，用抛电镜，Ｘ躬一衍射和Ｒａｍａｎ散射分析表征了沉积膜的质量，并测这和分析了氧化铝／铝金刚石膜复合材料的介电性质。