在双层辉光离子渗金属中空位浓度梯度对扩散的影响

摘要

在双层辉光离子渗金属中,由于高能量的离子轰击,在金属表面以下一定深度产生高的空位浓度、位错密度和空位浓度梯度.根据空位机制,从扩散流量导出钼的扩散系数的表达式.同时分析了高空位浓度、高空位浓度梯度对金属原子扩散的影响,指出这些是DGPSA的扩散系数远高于普通渗金属方法的主要原因.