优良特性材料的离子束技术

摘要

cqvip:以离子束技术为核心的载能粒子束技术近年来获得快速的发展,已逐步形成材料表面改性和合成新材料的产业化技术。俄、美、德、日等国在该技术领域占有一定的优势。我国八六三高技术计划和自然科学基金也设有离子束技术研究项目,如金属离子源、离子束辅助沉积技术、重金属离子复合注入技术、全方位离子注入技术和材料表面改性的试验方法等。大连理工大学三束材料改性国家重点实验室先后承担了八六三计划"重金属离子复合离子注入技术研究"、"全方位离子注入研究",以及自然科学基金"金属离子束增强沉积薄膜机理研究"和"气固复合离子源机理研究"等项目。