薄导电膜厚度的电容测量仪

摘要

在科学和技术的各个领域中,薄型和超薄导电膜、片、镀层得到了极其广泛的应用。为了保证这类材料安全的物理机械性能,必须具备检验它们基本参数,尤其是厚度的相应仪器。就现有的检验超薄型膜的方法来说,衍射法具有的灵敏度最高。然而由于已知的衍射特点,该法则不能用于象电影胶卷之类材料的连续生产过程的检验。因此需要研制新的方法和设备,以满足这方面生产的需要。在片状介电材料和导电材料厚度的非破坏性实际检验中,电容法得到了广泛的应用。