用浸渍法制造添加Pt的SnO2-x薄膜气体传感器特性

摘要

本文研究了含有添加铂的SnO2-x薄膜。SnO2-x薄膜是由反应电子来蒸发的烧结SnO2-x粉末而制成。沉积薄膜浸渍于H2PtCl6·6H2O水溶液中并加热。用电子分光仪进行化学分析，研究表面结构和膜的成分，用俄歇电子分光仪和X-射线衍射仪研究薄膜的电性能和Pt添加剂的效应，也研究了气体感器的特性。