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张振昭; 李光云;
不详;
铜薄膜电阻; 温度传感器; 响应性能;
机译:硅化钛硼掺杂多晶硅电阻温度传感器的研制
机译:光纤型低相干干涉仪的薄膜厚度温度传感器的研制
机译:低电阻Ti / TiN / Al薄膜补偿电阻的研制与表征
机译:用于电阻温度传感应用的薄膜材料和设备。
机译:TaN薄膜电阻器上低温氮化技术在温度传感器中的作用机理
机译:薄膜热敏电阻为温度传感器的薄膜热敏电阻的制备和快速响应性。
机译:用于电阻温度传感应用的薄膜材料和器件。
机译:使用相同的温度传感器元件和辐射温度计,用于制造温度传感器元件的方法,使用光致抗蚀剂膜的多层薄膜热敏电阻,使用热敏电阻的辐射温度计,以及用于制造多层薄膜的方法
机译:使用相同的温度传感器装置和辐射温度计,用于制造温度传感器装置的方法,使用光致抗蚀剂膜和辐射温度计的多层薄膜热敏电阻,以及用于制造多层薄膜热敏电阻的方法
机译:铜热电阻薄膜温度传感器芯片及其制备方法
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