新结构的硅一体化双岛压力传感器

摘要

本文所述的新结构的硅一体化双岛压力传感器与传统的双岛压力传感器相比具有温度特性好、工艺简单等优点，对过载保护后传感器输出特性的饱和，给出了一个新的解释。