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高性能薄膜压力传感器设计与工艺

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介绍了基于离子束溅射工艺，生产高性能薄膜压力传感器的设计与工艺要点，提供实例及若干关键数据．

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来源
《仪表技术与传感器》 |1997年第11期|13-14|共2页
作者
王兴业;
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作者单位

国防科技大学航天技术系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212.02;
关键词
离子束溅射; 压力传感器; 薄膜压力传感器;

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