01μm尘埃粒子计数器光学传感器

摘要

本文分析了首台国产０．１μｍ尘埃粒子计数器中光学传感器设计与研制中的关键技术问题。详细研究了半内腔激光器腔内杂散光的分布特征，结合旋转椭球面反射镜聚光系统的大立体角反射共轭成像弥散斑分布的计算结果，设计了具有高信噪比输出的大立体角矩形光敏区共轭成像空间的滤波光阑系统。光学传感器的检测灵敏度完全达到了设计要求。