方型硅杯力敏器件计算机辅助设计

摘要

介绍了扩散硅力敏器件计算机辅助设计的方法。根据方型硅杯形式的有限元分析结果，计算力器件的性能。给出了方型硅杯形式的应力和热应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度曲线，为传感器的设计和平面工艺版图设计提供了理论依据。