用于激光烧蚀加工深度测量的自聚焦传感器的设计

摘要

为提高激光烧蚀加工的尺寸精度，将自聚焦测量法应用于激光烧蚀加工的深度测量。研究了自聚焦传感器的测量原理并导出了被测物面深度与光电探测器成象之间的关系，据此分析了各参数对测量分辨率的影响。结论了这种传感器的设计具有重要指导意义。