提高扩散硅压力传感器质量的几项措施

摘要

本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中，为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施，使传感器的工程化生产实现了保证质量、降低成本、提高成品率的目的。