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一种表面可动微结构的释放新工艺

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摘要

在表面微机械加工技术中，当牺牲层腐蚀后，已被释放的表面可动微结构会粘结在衬底上使器件失效。

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来源
《仪表技术与传感器》 |1998年第7期|10-11,14|共3页
作者
沈绍群; Beni.MA;
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作者单位

复旦大学传感器研究室;

西班牙国家微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH－39;
关键词
表面微机械; 防黏附; 传感器; 微机械;

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