采用PWM静电伺服技术的微型角速度传感器

摘要

本文采用了采用ＰＷＭ静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成，分析了其工作机理，提出了其基本的检测原理。采用ＰＷＭ检测技术，使微弱、低频信号的高精度检测成为现实。