电涡流传感器动态响应特性研究

摘要

为了提高磁悬浮轴承高频电主轴控制系统中电涡流传感器的动态响应特性，针对恒频调幅式电涡流位移振动传感器，分析了电涡流传感器的基本结构和工作原理，建立了电涡流传感器检测了电路数学模型，分析了电涡流传感器动态响应特性与检测线圈谐振回路品质因数Ｑ的关系，提出了对电流传感器动态响应特性在不影响灵敏度和线性测量的情况下进行线校正方法，从而使电涡流传感器幅频呼应带宽提高一倍甚至几倍以上，相位角的滞后量也可以大大