用于尺寸测量的气针式传感器的初探

摘要

论述了一种新型气动传感器－气针式传感器的静特性。气针式传感器的研制将使气动测量技术用于高精度测量场合成为可能。该传感器的测量范围为±１０μｍ，整个测量系统精度可达±０．０９μｍ，对系统过进一步完善后，预计测量精度可达±０．０５μｍ。