TiO2—K2O—LiZnVO4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究

应皆荣; 万春荣

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采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成，化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗一湿度特性及电容－湿度特性，感湿特性曲线线性良好。元件还具有灵敏度高，滞后小，响应快，长期稳定性好等优点

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来源
《仪表技术与传感器》 |1999年第1期|10-12,16|共4页
作者
应皆荣; 万春荣;
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作者单位

清华大学核能技术设计研究院;

清华大学核能技术设计研究院;

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正文语种 CHI
中图分类 TP212;
关键词
溶胶凝胶法; 陶瓷薄膜; 湿敏元件; 湿敏性能; 传感器;

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