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掺杂ZnO臭氧敏感特性研究

     

摘要

通过主体材料ZnO掺入多种掺杂剂对O3气敏特性影响的研究,得到了对O3敏感的较佳材料,用该材料制作成的气敏传感器对O3具有较高的灵敏度、较低功耗和较好的响应恢复特性.

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