OEM硅压力传感器温度补偿技术研究

摘要

OEM硅压力传感器除具有普通扩散硅压力传感器的灵敏度高、稳定性好等优点外,还具有体积小、价格低廉,易于批量生产等特点,成为市场的主导产品.文中对多种OEM硅压力传感器的温度特性曲线及其补偿电路进行测试、比较、分析,对传感器温度曲线可补偿性进行研究,实现了低温度系数厚膜网络温度补偿.