金属球纳米级微位移测量电路的分析

摘要

转子位移检测环节是静电悬浮轴承的重要组成部分,位移测量电路的性能直接影响到转子在电极球腔中的定中精度.介绍了一种高精度转子位移测量电路的工作原理,分析了各个环节的特性.测试结果表明,电路性能与理论分析结果吻合较好,位移测量电路的分辨率、灵敏度、线性测量范围、零位稳定度及通频带等指标可以满足高精度静电悬浮轴承的要求.