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微机电压力传感器的产业化问题

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摘要

微机电压力传感器在国外早已实现产业化.国内只有少数企业能够进行小批量生产.工业用的产品大部分依靠进口,或者引进国外芯片和敏感元件进行组装.本文叙述了在微机电压力传感器产业化方面存在的技术和工艺问题,并对产业规模问题进行了探讨.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2002年第9期|1-3|共3页
作者
赵志诚;
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作者单位

沈阳仪器仪表工艺研究所,辽宁,沈阳,110043;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微机电; 传感器; 产业化;

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