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新颖型非整体膜结构硅加速度计的研制

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摘要

简要介绍了利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的非整体膜结构的敏感硅芯片,较详细地报告了用此硅芯片封装成的加速度敏感元件,最后介绍这种加速度计的优良性能.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2002年第5期|50-51|共2页
作者
唐世洪; 邓永和; 张克梅;
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作者单位

湖南吉首大学物理与电子工程系,湖南省吉首市,416000;

湖南吉首大学物理与电子工程系,湖南省吉首市,416000;

湖南吉首大学物理与电子工程系,湖南省吉首市,416000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.12;
关键词
各向异性腐蚀; 非整体膜; 硅加速度计;

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