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等离子体溅射石英晶体表面成膜实现液体黏度测量的研究

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摘要

提出了用微波电子回旋共振等离子体溅射法(ECR)在石英晶体表面制备出性能优异的TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为液体黏度检测时的频率偏离特性.该装置具有灵敏度高、动态性能好和操作方便的优点,有广阔的应用前景.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2002年第3期|52-54|共3页
作者
赵龙章; 梁荣庆;
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作者单位

中国科学院等离子体物理研究所,合肥市,230031;

中国科学院等离子体物理研究所,合肥市,230031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类粘度计;
关键词
ECR等离子体石英晶体频率偏离;

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