半导体温度传感器及其芯片集成技术

摘要

半导体温度传感器是利用集成电路的工艺技术,将硅基半导体的温度敏感元件与外围电路集成在同一芯片上,与传统类型的温度传感器比较,具有灵敏度高、线性好、体积小、功耗低、易于集成等优点.分别介绍了双极型工艺和CMOS工艺下的半导体温度传感器的基本设计原理,并具体提出一种CMOS型集成温度传感器设计电路.此外,还介绍了半导体温度传感器的芯片集成技术,并总结了IC设计中出现的关键技术问题与解决方法.