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微/纳机电系统

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微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已在产业化道路上发展,NEMS还处于基础研究阶段.分析了微/纳机电系统的发展特点,简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件及系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题以及它们的发展前景.

著录项

来源
《仪表技术与传感器》 |2003年第2期|1-5|共5页
作者
周兆英; 杨兴;
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作者单位

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类小型化、微型化;
关键词
微机电系统(MEMS); 纳机电系统(NEMS); 微米纳米技术;

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