柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺

摘要

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起.对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化.采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构.