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杨雪芳; 蔡萍; 王卫钢; 杨重远;
上海交通大学电子信息学院仪器系,上海,200030;
容栅位移传感器; 周期比较测量; 三层极板; 正余弦极板; 线性化;
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机译:氮结合的氧化f栅介电薄膜和钛基金属栅电极用于双栅应用。
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机译:基于交流电场的绝对时栅角位移传感器
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