PDMS气动微型蠕动泵的有限元分析

摘要

聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型蠕动泵具有结构和制作方法简单、复制速度快、成本低、易于和其他微流控器件集成的优点.通过对PDMS气动微型蠕动泵的结构和工作原理的分析,利用ANSYS软件对PDMS薄膜的形变状态和不同气压所引起的液体流速的变化进行了分析和研究,提出液体沟道剖面的几何形状为弧形和适当的制动气压是微泵实现液体输运的关键.