集成式径向磁轴承用差动位移传感器的设计

摘要

介绍了差动位移传感器的工作原理,在此基础上,提出了一种集成式径向磁轴承专用传感器的结构,给出了基于AD598芯片为核心的位移信号处理电路设计方法,并试验了单自由度的静态性能以及同结构双自由度间信号耦合的静态性能分析.结果表明:文中介绍的集成式径向差动位移传感器的性能可以满足磁悬浮系统工作的要求.