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微型磁通门传感器的制备与测试研究进展

     

摘要

对微型磁通门传感器的原理与结构进行论述,介绍了平面型和立体型微型磁通门传感器的制备方法,并阐述了A/D转换、Δ-Σ调制和全数字化磁通门传感器测试系统的组成和结构,指出现有测试系统的优缺点和存在问题,并在此基础上分析了微型磁通门传感器的发展趋势.

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