吸收光谱型气体红外传感器的设计与实现

摘要

对一种吸收光谱型气体红外传感器的工作原理、设计原理和集成化设计进行了分析.其中气体浓度对光谱的吸收会影响光强的变化,所以将微型热释电红外敏感头、小型灯泡都集成在1个小型的气室中,气室中有2个通道,气体探测通道和参考通道.2个通道光强的强弱差就会体现出气体浓度的大小,这样就实现了测试气体浓度的功能.集成化采用MEMS工艺将红外双路敏感元件及滤光片制作成探测头,然后通过微封装和微小集成技术将探测头、红外光源、过滤网集成在气室内.