刚度测量中螺管型差动式电感位移传感器的研制

摘要

在精密弹性元件的刚度测量中,需要对弹性元件变形的位移进行测量,位移测量的准确性是保证测量精度的关键技术之一.结合精密弹性元件刚度测量的实际情况,设计了一种量程为400μm,分辨率为0.1μm,在全量程内线性度为±0.1 μm/400μm的非接触式螺管型差动式电感传感器,叙述了标定方法和二次仪表电路的设计,并且成功地应用于刚度测量中,解决了实际生产的需求.