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张福学; 严庆文; 吴立锋; 张伟;
北京信息科技大学传感技术研究中心,北京100101;
旋转载体; 微机械; 陀螺; 角速度;
机译:旋转载体驱动的硅微机械陀螺的结构原理
机译:一种新型的静电驱动音叉微机械陀螺仪,其杆结构在大气压下工作
机译:具有非共振驱动模式的扭转微机械陀螺仪的结构设计和实验表征
机译:无驱动结构硅微机械陀螺仪的相处理
机译:纳米结构作为掺杂剂来源:使用形状和尺寸控制的纳米材料硅的无掩模纳米级图案化
机译:旋转飞机驱动微机械陀螺仪相位差的测量
机译:旋转飞机驱动的硅微机械陀螺振动抑制方法研究
机译:横向驱动的多晶硅共振微结构。
机译:无驱动结构的硅微机械陀螺仪
机译:基于微机械陀螺仪形成测试冲击运动质量的方法,用于调节微机械陀螺仪的共振频率悬浮运动质量的方法,确定该悬架相移的方法以及对微机械陀螺仪的正确操作进行连续测试的方法,电极产生微机械陀螺仪和微机械陀螺仪(可选)的测试IMPACT移动质量的结构,实现了该方法和电极结构
机译:微机械陀螺的电极结构和具有这种结构的微机械陀螺(版本)
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