硅电容差压传感器在振动中的问题分析

摘要

介绍了硅电容差压传感器在振动试验中出现的问题及问题分析。通过对不同的振动方向和不同振动量级的试验结果对比，得出试验样品最敏感的失效方向。并对试验样品失效的量级及内部结构进行综合分析，给出了振动量级与产品断裂应力的对应关系式，提出对产品结构的改进建议，并进行验证试验。