服务于微电子产业的MEMS新技术

摘要

UV—LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术。结合厚胶工艺，可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV—LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容，被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面，还可以将金属电镀工艺与硅微机械技术相结合，制作出用于圆片级测试的微机械探卡。文中主要介绍这种有产业前号的技术及其在器件制作上取得的成果。