微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法

摘要

研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象，通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生，如蒸发干燥法，CO2临界点干燥法，自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生，提高微型电场传感器的成品率。