基于MEMS技术的微型热导检测器的研制

摘要

文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器，这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻，利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻，而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到，热导池的体积为0．4μL.这种热导检测器具有灵敏度高，不受气流影响，不易氧化等特点，适用各种混合气体分离检测。