波导层不连续的Love波延迟线

摘要

Love波传感器的波导层和吸附层通常是不同材料的，一般先在整个器件表面覆盖一层声波导层材料，然后在感应区域对应的波导层上涂镀吸附层，但是这样会增大延迟线的插入损耗。文中设计了一种不连续波导层的Love波延迟线，即在感应区域，吸附层直接镀在压电基片上，同时兼作声波导层；在其他区域覆盖声波导层材料。实验器件制作在ST一90°x石英晶体上，中间感应区域用Au作波导层和吸附层，其他区域采用SU一8光刻胶作声波导层，结果表明，采用这种结构的延迟线可以降低损耗2dB以上。