金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模

摘要

介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析，应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型，得到刀片的应力图。通过仿真得到：砂轮刀片切向应力总是大于径向应力，切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且，应用基于特征的实体造型系统Pro／Engineer，建立了划片机划切过程模拟模型。为进一步进行参数化设计打下基础。