OEM压阻芯片性能测试及装置

摘要

OEM压阻芯片性能测试装置由2个平台构成,即硬件平台和软件平台,具有自动测试芯片性能和控制探针台功能。OEM压阻芯片性能测试可实现4寸（1寸=2.54 cm）芯片上近千个传感器图形的性能测试。每个图形测试项目包括桥路电阻、失调电压、漏流、击穿。对测试项目的合格判定标准实现了开放式管理,可根据不同类别的传感器芯片,设置不同的合格判定标准;在击穿电压测试项目中,对反向偏置电压设置实现了开放式管理,可根据不同的要求,设置不同的反向偏置电压,方便了应用。