电容式空隙率传感器有限元仿真及优化

摘要

通过有限元软件ANSYS仿真,建立了电容传感器的2D模型,计算了电容传感器的敏感场分布。以敏感场的均匀度为评价函数,基于正交试验法得到了较优的传感器结构。