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基于组合热膜探头的气体流量积算仪

     

摘要

介绍了一种新型的基于组合热膜探头的气体流量积算仪.对该组合热膜探头的温度特性进行了实验研究,设计了具有温度补偿功能的测量电路,给出了用该探头进行气体流量测量的实验数据.结果表明:该组合热膜探头在微小流量测量中具有较高的灵敏度和重复性,测量精度优于1%,测量范围度达100:1.

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