基于Modbus的半导体扩散/氧化工艺控制系统

摘要

针对传统的扩散/氧化控制系统温度控制精度、生产工艺控制能力以及自动运行能力较低,难以实现集中管理的现状,提出了一种基于Modbus的半导体扩散/氧化工艺控制系统.系统以可编程逻辑控制器(PLC)为核心,以自整定PID算法为控制器,采用Modbus协议通信.可有效实现温度、气体流量等参数的下传及各检测数据、状态的上传,完成对扩散炉温度工艺曲线和辅助工艺的控制.实现了半导体扩散工艺的自动化,提高了温度控制精度以及工作效率.应用结果表明,该温控系统具有良好的自适应性和鲁棒性.