液相单片阵列QCM传感器及测量系统研究

摘要

研究一种用于液相检测的单片阵列QCM传感器及测量系统.在一个石英基片上制作多个QCM单元,封装成适于液相检测的阵列QCM器件;基于同一振荡电路,通过选通激励方式,测量阵列中的各敏感单元,消除振荡电路的差异性影响.采用嵌入式微处理器LPC2132和CPLD器件XC9572构建并行频率测量及控制系统,实现多通道QCM测量﹑控制﹑计算显示和数据通讯等功能,构成一个完整的液相QCM阵列传感器系统平台.