电容式压力传感器的线性化校正与温度补偿

摘要

论述了利用最小二乘法和牛顿插值法对电容式压力传感器的非线性和温度影响进行校正和补偿的方法.对电容式压力传感器信号存在非线性和温漂问题的机理进行了分析.采用最小二乘法对传感器输出信号进行非线性校正, 然后利用牛顿插值法进行温度补偿.测试结果表明,在-40～85 ℃温度范围内实现了0.04%的测量精度.