提高压力传感器引线键合质量的工艺研究

摘要

不同的键合工艺参数的设置及匹配会对引线键合质量构成显著影响,进而影响压力传感器的可靠性。首先对压力传感器引线键合工艺进行了简要介绍,然后对如何进行引线键合工艺参数的优化控制进行了系统描述,最后结合实际提出了压力传感器常见的引线键合失效模式、质量控制方法及测试结果,在压力传感器的引线键合工艺中具有很好的指导意义。