便携式硅谐振式压力传感器数据采集系统

摘要

针对硅谐振式压力传感器的使用需要,设计了一种基于FPGA平台的便携式数据采集系统.在分析传感器工作原理的基础上,提出使用等精度测频法实现对传感器输出信号的高精度采集,并搭建了基于LabVIEW的自动测试平台.通过与标准频率计对硅谐振式压力传感器进行的对比测试表明,系统平均相对误差优于0.001％,能够满足使用需要,且大幅了减小系统体积,为智能化传感器和压力测量系统的搭建开发提供了平台.