基于氧化锆的高精度氧传感器

摘要

文中介绍了一种高精度的氧传感器.针对当前的气体传感器研究中的非分光红外技术、热导传感器设计技术和色谱法中存在的需要参比气体的缺点,该传感器采用小型氧化锆基础元件为核心,不需要参考气体,这样可以去除环境的限制和由于参比气室带来的测量误差.该传感器可在高温、高湿和高氧压条件下工作,测量精度高.